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牛津仪器为Natre Dame大学提供等离子体设备
发布者:cdxcyq 发布时间:2011-1-24 10:36:07 阅读:1709

为进一步的扩大和促进研究能力,美国中西部纳米电子研发中心(MIND)采购了牛津仪器公司等离子技术部的等离子蚀刻和沉积两套设备。该FlexALâ原子沉积(ALD)和System100 ICP等离子蚀刻设备将安装在Notre Dame的纳米加工设施里,位于美国印第安纳州Notre Dame大学校园里工程学斯廷森-雷米克厅的9000平方英尺的无尘室。

FlexAL设备为工程纳米结构器件提高了灵活性和能力,其方法是通过提供一个包含远程等离子ALD制程和thermal ALD的独立平台。System100 ICP等离子蚀刻设备的特点在于使用新的Cobra离子源,即:给用户提供了额外的等离子控制功能,从而为此先进工艺提供了更强的灵活性。

MIND是由半导体研究公司纳米电子学研究所 (NRI)主办的四个中心之一。MIND还与美国国家标准与技术研究所、Argonne国家实验室,国家强磁场实验室有着合作。

美国中西部纳米电子研发中心(MIND)的Alan Seabaugh教授和董事长Frank M. Freimann提到:"纳米电子学研究中心的目标是研发并且发展能超越传统设备性能的下一代纳米级别逻辑器件,并使其成为能广泛应用于未来的电脑里面。在Notre Dame大学,我们选择了牛津仪器公司的设备,以促进这项工作。因为牛津仪器公司具有先进技术,设备的通用性和成本效益给研发工作带来贡献。"

牛津仪器公司美国销售副总裁Stuart Mitchell说, "我们公司的目标是追求负责任地发展以及通过科学和技术对世界更深入地了解,多年以来我们一直是多著名美国研究机构的主要供应商。这个等离子蚀刻和沉积系统的订单让我们成为制造业领先的供应商,并加强了我们在美国科研界作为重要供应商的声誉。"

关于牛津

  牛津仪器公司于1959年创建于英国牛津,现已成为世界领先的科学仪器跨国集团公司,是光谱仪、测厚仪、能谱仪、等离子设备、超导超低温产品、核磁共振仪、低温泵压缩机、X射线管等方面的专家,拥有分布于英国、美国、芬兰、丹麦、德国和中国的十几个工厂以及遍及全球的分公司或办事处。

 
 

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